Mattox
- 网络镀膜方法取得专利;离子镀膜工艺研制成功;马托克
Mattox
Mattox
镀膜方法取得专利
...67年, 刀具上溅射镀铬成功(Lane);真空离子镀膜方法取得专利(Mattox); 三极溅射方法研制成功(Baun,Wan等); 高真空条件下, …
离子镀膜工艺研制成功
...镀膜设备(Charschan,Savach等); 离子镀膜工艺研制成功(Mattox).1964年, 光生伏打薄膜的PECVD(等离子体增强化学气相沉 …
马托克
(三)离子镀:1963年马托克(Mattox)首先使用。真空热蒸发与溅射相结合一种新工艺。
离子镀膜格式得到专利
... 胜利(Lane);真空离子镀膜格式得到专利(Mattox); 三极溅射格式研制胜利(Baun,Wan等); 下真空条件下,引爆膜的群散(Mattox)…