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- 网络区熔再结晶(zone melting recrystallization)；区熔再结晶技术；区熔再结晶法
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区熔再结晶(zone melting recrystallization)
研究了区熔再结晶(ZMR)设备及其工艺特点.在覆盖SiO2的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积(RTCVD)在其上沉积一 …
区熔再结晶技术
区熔再结晶技术（ZMR） ZMR 的工艺过程为： （1）在单晶硅上生长SiO2、Si3N4 等绝缘层（介质）； （2）采用低压化学汽 …
区熔再结晶法
到目前为止,再结晶技术主要有:固相晶 化法 ( SPC) 、区熔再结晶法 ( ZMR ) 和金属诱导结晶法 (MIC) 。 4. 2. 1 固相晶化法 ( SP…
区熔在结晶
...,晶粒尺寸为0.01um ~0.1um,将该层进行区熔在结晶(ZMR)形成多晶硅 层。