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二氯氢硅
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二氯氢硅
SiH Cl
... 或三氯氢硅(SiHCl ) 硅烷(SiH ) 或
二氯氢硅
(
SiH Cl
)等进入置有 硅衬底的反应室，在反应室进行高 温化学反应，使含硅反应 …
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