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ECR系统
例句：
1
The SiCN
thin films
are
prepared
by
twined
charge
chamber
microwave
ECR
plasma
enhanced
unbalanced
magnetron
sputtering
system
.
本文
采用
大连
工
大学
三
束
实验室
自主
研发
的
双
放电
腔
微波
-
ECR
等离子体
增强
非平衡
磁
控
溅射
系统
制备
了
SiCN
薄膜
。
2
The
Design
of ECR
Resource
Charge
Status
Analysis
System
ECR
离子
源
电荷
态
分析
系统
设计
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