SiCN
- 网络碳氮；三元材料；碳氮化硅
SiCNSiCN
碳氮
【摘要】： 硅碳氮(SiCN)是一种新型的宽带隙半导体材料,光学特性优良,在光电子器件领域具有非常广阔的应用前景。不同Si、…
三元材料
快速升温化学气相沉积成长矽基三元材料(SiCN)薄膜 及其应用於光电元件的研究张正男* 方炎坤**国立成功大学电机系微电子工 …
碳氮化硅
【摘要】：碳氮化硅(SiCN)薄膜是一种新型三元薄膜材料,具有高硬度、宽光学带隙、高温抗氧化性能以及抗腐蚀性能等诸多优 …
氮碳化矽
...nGaAs / InP ) 制作远红外线光检波器、氮碳化矽 ( SiCN ) 制作紫外线光检波器、以及在矽基板上成长单晶与多晶氮化镓之一 …
碳氮化矽
4-2-3 碳氮化矽(SiCN)模拟结果与分析..........................65 4-2-4 三种材料的场发射特性比较..............................77
氮掺杂碳化硅
的讨论主要是针对事业中的氮掺杂碳化硅（SICN）的组成，机械强度差ULK，反应离子刻蚀（RIE）和阻挡层淀积等离子损伤 …
碳氮硅烷
...瓷前驱体，成功制备了能在 1500℃稳定的有序介孔碳氮硅烷（SiCN）陶瓷。
碳氮硅化合物
...C)、氮化硅(SiN)、碳硅氧化合物(SiCO)、碳氮硅化合物(SiCN)中的一种或其组合。
1